©셔터스톡/고로덴코프
[뉴스에프엔 김맹근 기자] EU 주도 3년 프로젝트인 ‘GENESIS’가 차세대 반도체 생산의 친환경·지속 가능성 모델을 제시하며 산업의 대전환을 준비하고 있다. ‘GENESIS(GENerate in Europe Sustainable Manufacturing for Semiconductor)’는 유럽 전역 58개 파트너가 협력해, 성능과 혁신을 유지하면서도 유해 물질 배출과 재료 낭비를 최소화하는 솔루션 개발에 박차를 가한다.
2025년 5월 출범한 이 프로젝트는 EU, 회원국, 스위스 교육·연구기관 공동 지원 하에 CEA-Leti 연구소가 주도한다. 2028년 초까지 운영되며, 6개 작업 영역 중 4개는 지속 가능한 제조 핵심 분야에 집중한다.
GENESIS의 지속 가능성 전략은 네 가지 핵심 기둥으로 요약된다.
첫째, ‘모니터링 및 감지’ 기둥은 NF₃, CF₄, SF₆ 같은 온실가스 배출을 실시간으로 추적·제어할 수 있는 첨단 감지 기술 개발에 주력한다. 이를 통해 EU의 기후 목표 달성에 부합하는 저배출 생산 환경 구축을 지원한다.
둘째, ‘신소재’ 분야에서는 PFAS 규제 강화에 대응해 리소그래피, 에칭, 세척 공정 등에 적용 가능한 PFAS 대체 화학물질과 저 GWP(지구온난화지수) 소재를 설계·검증 중이다.
셋째, ‘폐기물 최소화’ 기둥은 복잡한 가스·화학물질 폐기물 흐름을 줄이고, 가스 및 용매의 재활용·재사용을 통한 폐기물 저감 솔루션을 추진한다. 폐쇄 루프 시스템을 통해 반도체 생산 전 과정에서 발생하는 폐기물량을 대폭 줄이는 것을 목표로 한다.
넷째, ‘중요 원자재 완화’는 갈륨, 인듐, 희토류 등 핵심 원자재에 대한 유럽 의존도를 낮추기 위해 순환성 전략과 프로세스 대체 기술 개발에 집중한다.
이러한 혁신 기술은 산업 현장 파일럿 라인을 통한 실제 시연으로 검증되며, 기술적 완성도뿐 아니라 산업적 실행 가능성도 함께 입증되고 있다.
GENESIS는 단발성 프로젝트를 넘어 지속 가능한 반도체 생태계 구축을 위한 플랫폼으로서, EU 칩법과 연계해 유럽의 기술 및 산업 리더십 확보에 핵심 역할을 맡는다.
프로젝트는 정책 개발과도 긴밀히 협력, 유럽 그린딜 및 PFAS 규제 등 환경 규제 강화에 부응하며, 개방 과학과 교육 프로그램을 통해 차세대 기술 인력 양성에도 힘쓰고 있다.
GENESIS 관계자는 “지속 가능성은 반도체 혁신의 근간이 되어야 하며, 이 프로젝트는 유럽이 디지털 주권과 기후 행동을 동시에 달성하는 데 기여할 것”이라고 말했다.
차세대 마이크로일렉트로닉스 산업에서 환경 책임과 기술 경쟁력이 공존하는 미래를 향해 GENESIS가 주도하는 친환경 반도체 생산 혁신이 전 세계의 주목을 받고 있다.